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衍射光柵--自校準光柵
LightSmyth光柵設計新概念:光柵設計集成校準功能。這些光柵的用戶將享受同樣高性能和低成本低散射反射光柵,可進行波長校準,提供薄的嵌入式微光柵陣列所提供的附加優勢,圖1所示光柵的示意圖。在傳統的方式中使用的母光柵,但12個對準/校準光柵照射時由一個氦氖激光器或其他參考在檢測平面上提供一種校準標記系列,這些標記允許高精度和方便地校準的母光柵色散線。如所述的應用說明中,標記也允許輸入信號波陣面的精確監測和適當的檢測平面的焦點。值得注意的是,標記所指示的母光柵的波長與輸入光入射角無關。從本質上講,一個校準的母光柵的輸出平面通過初級差分比較和對準/校準光柵的線密度的比率。
在這個產品中,母光柵和校準/校準光柵(即定位精度和干涉彼此相對)空間相干,是單體結構的一部分。該產品配備了兩個版本。第一個,所有光柵的線是平行的,標記輸出信號的下降沿主光柵的色散線。在第二種方法中,線的對準/校準光柵有傾斜精確計算提供NeHe的產生標記,沿著一條線輕偏離,但平行于母光柵色散線。可以采用替代參考光源及在這種情況下,校準標記還可以精確地與特定母光柵輸出波長,與輸入角度無關。標記物漂移的母光柵參照波長(如表1中給出)與632.8 nm的新參照波長的比率成比例。
表Ⅰ中的詳細信息的屬性的傾斜和非傾斜的版本的產品。一英寸的光柵包含的全套12對準/校準光柵。半英寸光柵包含6的一個子集。對準/校準光柵的設計,使6光柵的子集提供了一組有用的標記。對于表1中,信號光入射在30度從正常的同一側上作為輸出。不改變標記物的波長的情況下,也可以采用其他輸入角度。
Table I | ||||
Grating |
First-order Marker wavelength* (nm) |
Lines/mm (non-tilted) |
Lines/mm (tilted) |
Tilt angle (deg) |
Primary |
na |
1200 |
1200 |
0 |
1 |
400 |
758.6 |
760.6 |
4.158 |
2 |
500 |
948.2 |
949.8 |
3.329 |
3 |
600 |
1137.7 |
1139.1 |
2.775 |
4 |
700 |
1327.4 |
1328.6 |
2.379 |
5 |
800 |
1517.2 |
1518.2 |
2.082 |
6 |
900 |
1706.7 |
1707.6 |
1.851 |
7 |
500 |
948.2 |
949.8 |
3.329 |
8 |
550 |
1043.0 |
1044.4 |
3.025 |
9 |
600 |
1137.7 |
1139.1 |
2.775 |
10 |
650 |
1232.6 |
1233.9 |
2.560 |
11 |
700 |
1327.4 |
1328.6 |
2.379 |
12 |
750 |
1422.2 |
1423.3 |
2.219 |
* First-order marker wavelength is the wavelength of light diffracted from the primary grating which falls at the same output angle as the HeNe marker signal from the referenced alignment/calibration grating. Note that alignment/calibration gratings produce additional HeNe markers at higher orders and that the marker wavelength is simply multiplied by the order number. |
◆ 典型光柵厚度約為0.73毫米。
◆ 基板高度和寬度的公差為0.3mm。
◆ 光柵基片:單晶硅。
◆ 光柵鍍膜:鋁(其他鍍膜類型可選)。
Primary Grating Line Density (lines/mm) |
alignment/calibration gratings |
orientation |
Size |
Part number |
1200 |
1-6 or 7-12 |
Non-tilt |
12.5 mm × 12.5 mm |
CNG-C12-1212A-Al |
1200 |
1-12 |
Non-tilt |
25 mm × 25 mm |
CNG-C12-2525A-Al |
1200 |
1-6 or 7-12 |
Tilt |
12.5 mm × 12.5 mm |
CTG-C12-1212A-Al |
1200 |
1-12 |
Tilt |
25 mm × 25 mm |
CTG-C12-2525A-Al |
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